神視晶圓定位傳感器panasonic工作條件

簡介：
電源電壓 12?24V DC±10%　脈動P-P10%以下
消耗電流 65mA以下
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進行檢測。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
可檢測涂氮晶圓
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同
。因此，對于使用單波長激光的傳感器，可能會因光全被吸收而無法檢測。
檢測物體 3英寸以上的半導體晶圓(注2)
可對應檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
檢測角度 12.5±5°(注4)
晶圓間距 間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)
適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準確檢測。
0.5ms的高速反應
實現(xiàn)0.5ms的高速反應。兼顧高速反應性和高精度。
基于2段受光元件的高精度位置檢測
利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。

神視晶圓定位傳感器panasonic工作條件

可從四個方向引出電纜

內置放大器的小巧、輕盈型